XYZ均採用直線電機及高精度交叉滾柱導軌

XYZ內置高精度絕對值光柵尺，1nm光柵分辨率，重複定位精度≤±100nm，絕對定位精度（位置誤差補償後）≤±350nm；

配套專用高精度控制器，實現靜態抖動（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩定；

高速尋光，每軸速度≥350mm/s，加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高；

典型應用領域：有源/無源 光模块三維耦合設備，精密零件光學檢測。